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國(guó)儀量子應(yīng)用中心儀器上新——場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM5000

更新時(shí)間:2022-06-23      點(diǎn)擊次數(shù):7377

近日,國(guó)儀量子應(yīng)用中心迎來重磅新品——場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM5000。

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,有著先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì),鏡筒內(nèi)減速、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時(shí)可適用于磁性樣品。SEM5000具有光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互,優(yōu)化的操作和使用流程。

無論操作者是否具有豐富經(jīng)驗(yàn),都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。


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電子槍類型:高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

分辨率:1 nm @ 15 kV 

1.5 nm @ 1 kV

放大倍率:1 ~ 1000000 x

加速電壓:20 V ~ 30 kV

樣品臺(tái):五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)


01

分辨率高,低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像


02

電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品


03

鏡筒內(nèi)減速,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證


04

電子光路無交叉,有效降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力


05

水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性


06

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動(dòng)切換光闌孔,無需機(jī)械調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換


應(yīng)用領(lǐng)域

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM5000可廣泛應(yīng)用于鋰電、芯片半導(dǎo)體、陶瓷、建筑材料、電子元器件、化學(xué)化工、生物醫(yī)療、環(huán)保、金屬材料等領(lǐng)域。


場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM5000拍攝案例


櫻花花粉

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經(jīng)偽彩處理

NVP

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TIO2

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鈦酸鋰

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正極極片

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負(fù)極極片

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極片表面的導(dǎo)電添加劑

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隔膜

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