鎢燈絲掃描電鏡使用時的注意事項

　　如何制取樣品？

　　首先看樣品是否導(dǎo)電，如果導(dǎo)電的話，要正確的取材，然后清潔樣品表面，將樣品固定好，進行腐蝕、電解拋光等處理，然后在高真空下觀察；如果樣品不導(dǎo)電，要看它是否可以噴金，可以噴金的樣品，當正確取材、清潔表面后，再對其進行噴完金處理，然后按照上面所述的步驟進行，如果不可以噴金，正確選材、清潔表面、固定樣品后，要在低真空下觀察。

　　掃描電鏡測試對樣品的基本要求是？

　　能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道，不會被電子束分解

　　在電子束掃描下具有良好的熱穩(wěn)定性，不能揮發(fā)或含有水分

　　樣品大小與厚度要適于樣品臺的尺寸

　　樣品表面應(yīng)該清潔，無污染物

　　磁性樣品要預(yù)先去除磁性

　　影響鎢燈絲掃描電鏡分辨率的因素？

　　1，電子束的實際直徑；電子束的直徑減小，分辨率提高，但是實際直徑小到一定程度時，很難激發(fā)出足夠的信號。所以理想的電子束需要尺寸小而且束流大。

　　2，電子束在試樣中的散射；電子束進入試樣后，受到試樣對電子的散射，從而電子束直徑變寬，降低了分辨率，這種散射效應(yīng)取決于加速電壓的大小和試樣本身的性質(zhì)。

　　3，信號噪聲比。噪聲來源于兩個方面：點噪聲、統(tǒng)計漲落噪聲。提高信噪比可以：

　　①提高信號電流，②采用長的幀掃描時間，③減少像元數(shù)目，但是會降低圖像的清晰度。故提高信噪比的有效途徑是提高電子束的亮度或適當延長幀掃描的時間。

　　工作電壓、工作距離、束斑尺寸各自對掃描電鏡的成像質(zhì)量和分辨率有什么影響？

　　工作電壓給電子槍提供高壓從而產(chǎn)生電子源，電壓越高，分辨率越高

　　工作距離樣品和物鏡之間的距離，縮短工作距離可以提高圖像分辨率；（樣本表層到末級聚光鏡(通常我們叫他物鏡，但不準確)的極靴的距離）

　　因為一般來說，束斑小的分辨率高。但束斑小相應(yīng)的束流也小，轉(zhuǎn)化為成像信號的電子也少，而統(tǒng)計噪音是固定的。當信號值低于噪音的3倍時，將無法識別信號代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一個重要基本因素。相同的掃描區(qū)域，小束斑漏掃地方太多，所以邊緣不平滑。

　　泄真空時，為什么要關(guān)閉高壓（HV）后，等待一定時間后再卸真空？

　　鎢燈絲一般處于2700K的高壓，當關(guān)閉高壓時，燈絲依舊還很熱，如果此時泄真空的話，會氧化燈絲，嚴重的話，會使燈絲壞掉；時間長了，也會影響整個鏡筒的狀態(tài)，整個鏡筒會產(chǎn)生氧化膜，影響分辨率。